Sự khác biệt giữa bột đánh bóng PWA và bột đánh bóng WA
PWA và WA là hai loại vật liệu mài bóng alumina kinh điển, được sử dụng rộng rãi trong mài chính xác, đánh bóng tấm bán dẫn và xử lý quang học. Chúng khác nhau về cơ bản ở quy trình sản xuất, hình thái hạt, độ tinh khiết, cơ chế đánh bóng và các trường hợp ứng dụng, như được trình bày chi tiết dưới đây.
1. Tên gọi đầy đủ & Quy trình sản xuất
WA là viết tắt của White Fused Alumina (Alumina trắng nung chảy). Nó được sản xuất bằng cách nung chảy quặng bauxite ở nhiệt độ trên 2200℃ trong lò hồ quang điện, sau đó nghiền, xay và phân loại các khối corundum nung chảy đã nguội thành bột siêu mịn.
PWA là viết tắt của Platelet Calcined Alumina (Alumina dạng tấm nung). Nó sử dụng công nghệ nung định hướng ở nhiệt độ thấp 1300℃ mà không cần nung chảy bằng điện, kiểm soát sự phát triển tinh thể để tạo thành các tấm lục giác phẳng đều đặn, sau đó được rửa và phân loại chính xác để thu được bột thành phẩm.
2. Hình dạng hạt & Độ tinh khiết
Hạt WA là các đa diện phân mảnh không đều với các cạnh cắt sắc nét. Độ tinh khiết Al₂O₃ của nó là ≥96,0%, chứa một lượng nhỏ tạp chất vết như sắt và silic.
PWA có các tinh thể dạng tấm mịn, không cạnh với tỷ lệ chiều dài/chiều rộng cao. Độ tinh khiết alumina của nó vượt quá 99,0%, với các tạp chất kim loại nặng được kiểm soát chặt chẽ, đáp ứng các tiêu chuẩn sản xuất chất bán dẫn siêu sạch.
3. Hiệu suất đánh bóng
WA dựa vào các cạnh sắc để cắt cơ học, mang lại tốc độ loại bỏ vật liệu cao. Tuy nhiên, lực cắt cứng của nó dễ gây ra các vết xước nhỏ, hư hỏng cấu trúc mạng tinh thể dưới bề mặt và ứng suất dư trên các chất nền dễ vỡ như InP, GaAs và các tấm silicon mỏng. Nó phù hợp cho việc mài thô cần loại bỏ nhiều vật liệu, nơi độ hoàn thiện bề mặt không được ưu tiên.
Các hạt phẳng PWA bám chặt vào bề mặt phôi và loại bỏ vật liệu thông qua ma sát trượt đồng đều thay vì cắt sắc. Nó giảm thiểu các vết xước và hư hỏng dưới bề mặt, mang lại bề mặt gương siêu mịn, không bị mờ với độ phẳng tổng thể tuyệt vời. Nó cân bằng giữa hiệu quả loại bỏ vật liệu vừa phải và chất lượng bề mặt siêu chính xác, lý tưởng cho việc đánh bóng tinh CMP chất bán dẫn phức hợp.
4. Độ ổn định hóa học & Phạm vi ứng dụng
Cả hai đều có độ cứng Mohs 9.0 và pha α-alumina ổn định, nhưng PWA có khả năng chống axit & kiềm mạnh hơn và phân tán tốt hơn trong dung dịch đánh bóng mà không bị vón cục.
WA chủ yếu được sử dụng để mài thô kim loại, đánh bóng thô thủy tinh nói chung và đánh bóng phần cứng yêu cầu thấp.
PWA nhắm đến các lĩnh vực cao cấp: đánh bóng tấm bán dẫn III-V, hoàn thiện tinh thể quang học, cắt tỉa tinh xảo kính cong 3D sau CMP và chất độn chức năng có độ tinh khiết cao cho lớp phủ cách nhiệt, đóng vai trò là chất thay thế cao cấp cho các vật liệu đánh bóng chính xác cao nhập khẩu.
