Bột đánh bóng quang học FO dùng để đánh bóng tấm wafer 12 inch.
Bột đánh bóng quang học FO là chất mài mòn tổng hợp độ chính xác cao, được tối ưu hóa đặc biệt cho quá trình làm phẳng siêu mịn các tấm bán dẫn 12 inch. Sử dụng công thức tổng hợp alumina và zirconia đã được cải tiến, sản phẩm có đặc điểm phân bố hạt đồng đều, độ cứng vừa phải và ổn định, cùng khả năng huyền phù tuyệt vời, hoàn toàn đáp ứng các yêu cầu đánh bóng CMP nghiêm ngặt đối với các tấm bán dẫn kích thước lớn.
Sản phẩm này được ứng dụng chuyên nghiệp trong toàn bộ quy trình đánh bóng chính xác các tấm wafer silicon 12 inch, gallium arsenide, indium phosphide và các wafer bán dẫn hợp chất khác. Sản phẩm loại bỏ hiệu quả các khuyết tật vi mô trên bề mặt, vết cắt và các lớp không đồng đều mà không gây ra các vết xước nhỏ, vết lõm hoặc dư lượng ứng suất trên bề mặt. Sản phẩm giúp làm phẳng bề mặt siêu mịn và cải thiện đáng kể độ phẳng, độ song song và năng suất tổng thể của các wafer đường kính lớn.
Với độ ổn định theo từng lô và tốc độ loại bỏ vật liệu có thể kiểm soát được, sản phẩm này phù hợp với sản xuất hàng loạt tự động các tấm wafer 12 inch. Nó có thể thay thế hoàn hảo bột đánh bóng cao cấp nhập khẩu, hỗ trợ các thông số kỹ thuật hạt tùy chỉnh. Lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn, xử lý chất nền chip quang điện tử và các ứng dụng độ chính xác cao khác, đây là vật liệu đánh bóng lõi tiết kiệm chi phí và đáng tin cậy cho sản xuất wafer khổ lớn.
Tính chất vật lý và thành phần hóa học của bột đánh bóng quang học %-FO dùng cho đánh bóng tấm wafer 12 inch.
| Mục | Kích cỡ | Tỷ trọng riêng (g/cm³) | Hóa chất(%) | ||||
| Al2O3 | SiO2 | Fe2O3 | TiO2 | ZrO2 | |||
| FO | #800-#1200 | ≥3,90 | ≥45,0 | ≤20,0 | ≤0,5 | ≤2.0 | ≤33.0 |
| #1500-#3000 | ≥3,90 | ≥40,5 | ≤20,0 | ≤0,7 | ≤2.0 | ≤33.0 | |
Phân bố kích thước hạt (PSD) của bột đánh bóng quang học FO dùng cho việc đánh bóng tấm wafer 12 inch.
| Kích cỡ | D0 | D3 | D50 | D94 |
| #800 | ≤32,0 | ≤27,0 | 11,3±0,9 | ≥6,5 |
| #1000 | ≤27,0 | ≤23.0 | 9,4±0,8 | ≥5.0 |
| #1200 | ≤23.0 | ≤20,0 | 7,1±0,7 | ≥4.0 |
| #1500 | ≤19.0 | ≤17.0 | 5,5±0,5 | ≥3.0 |
| #2000 | ≤15.0 | ≤14.0 | 4,5±0,4 | ≥2.0 |
| #3000 | ≤12.0 | ≤11.0 | 3,6±0,4 | ≥1,5 |
Các ứng dụng chính của bột vi quang FO
– Mài và đánh bóng các tấm bán dẫn
–Hoàn thiện bề mặt các loại kính quang học khác nhau
– Mài và đánh bóng thấu kính, lăng kính, gương, bộ lọc, v.v. làm từ tinh thể quang học.
–Hoàn thiện bề mặt vật liệu áp điện
Đóng gói bột vi mô quang học FO
10kg bao PVC + pallet
