Bột nhôm oxit nung dạng tấm dùng để đánh bóng và mài tấm bán dẫn.
Bột mài alumina nung dạng tấm là một loại vật liệu mài mòn chính xác cao cấp được phát triển đặc biệt cho quá trình mài và đánh bóng CMP của tấm bán dẫn. Khác với các loại vật liệu mài mòn alumina góc cạnh truyền thống có các cạnh cắt sắc bén, sản phẩm này có cấu trúc vi mô dạng tấm mịn độc đáo, rất phù hợp cho việc gia công siêu mịn các chất nền dễ vỡ và có độ chính xác cao như tấm GaAs, tấm silicon và tấm sapphire. Nó đã trở thành một vật liệu thiết yếu để cải thiện độ hoàn thiện bề mặt tấm và năng suất sản xuất trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Bột đánh bóng alumina nung dạng tấm được làm từ bột alumina công nghiệp chất lượng cao làm nguyên liệu thô, và được xử lý bằng quy trình sản xuất đặc biệt. Hình dạng tinh thể của bột đánh bóng alumina thành phẩm là hình lục giác phẳng giống như hình tấm, vì vậy nó được gọi là Alumina dạng tấm hoặc Alumina dạng phiến.
Độ tinh khiết của alumina dạng tấm đạt hơn 99%, có đặc tính chịu nhiệt, chống ăn mòn axit và kiềm, và độ cứng cao. Khác với các hạt mài hình cầu truyền thống, bề mặt đáy của alumina dạng tấm phẳng, các hạt bám sát bề mặt phôi trong quá trình mài, tạo ra hiệu ứng mài trượt, tránh tình trạng các góc sắc nhọn của hạt làm xước bề mặt phôi. Mặt khác, khi mài alumina dạng tấm, áp lực mài được phân bố đều trên bề mặt các hạt, các hạt không dễ bị vỡ, khả năng chống mài mòn được cải thiện, từ đó nâng cao hiệu quả mài và chất lượng bề mặt.
Đối với các vật liệu bán dẫn như tấm silicon bán dẫn, việc sử dụng tấm oxit nhôm có thể giảm thời gian mài, cải thiện đáng kể hiệu quả mài, giảm tổn thất của máy mài, tiết kiệm nhân công và chi phí mài, đồng thời tăng tỷ lệ đạt yêu cầu của quá trình mài. Chất lượng sản phẩm gần bằng các thương hiệu nổi tiếng nước ngoài.
Hiệu quả công việc mài bóng đèn thủy tinh của ống hình ảnh được tăng lên 3-5 lần;
Tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng tăng 10-15%, và tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng của tấm bán dẫn đạt hơn 99%;
Lượng tiêu hao khi nghiền ít hơn 40-40% so với bột đánh bóng alumina thông thường;
Thành phần hóa học
| Hóa chất | Giá trị bảo hành | Giá trị điển hình |
| Al2O3 | ≥99,0% | 99,36% |
| SiO2 | <0,2% | 0,017% |
| Fe2O3 | <0,1% | 0,03% |
| Na2O | <0,6% | 0,35% |
Tính chất vật lý
| Vật liệu | α-Al2O3 |
| Màu sắc | Trắng |
| Tỷ trọng riêng | ≥3,9g/cm3 |
| Độ cứng Mohs | 9.0 |
Kích thước có sẵn
| Kiểu | D3(um) | D50 (một) | D94 (um) |
| HXTA45 | 50,5-56,2 | 33-38,5 | 20,7-24,5 |
| HXTA40 | 39-44,6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
| HXTA35 | 35,4-39,8 | 23,8-27,2 | 15-17 |
| HXTA30 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13,4-15,6 |
| HXTA25 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| HXTA20 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| HXTA15 | 14,8-17,2 | 9,4-11 | 5,8-6,8 |
| HXTA12 | 11,8-13,8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
| HXTA09 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3.3-3.9 |
| HXTA05 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2,55-3,05 |
| HXTA03 | 4,8-5,6 | 2,8-3,4 | 1,5-2,1 |
Ứng dụng sản phẩm
1) Ngành công nghiệp điện tử: mài và đánh bóng các tấm bán dẫn silicon đơn tinh thể, tinh thể thạch anh, chất bán dẫn phức hợp (gali tinh thể, phosphat hóa nano).
2) Ngành công nghiệp thủy tinh: mài và gia công tinh thể, thủy tinh thạch anh, màn hình kính kinescope, thủy tinh quang học, chất nền thủy tinh màn hình tinh thể lỏng (LCD) và tinh thể thạch anh.
3) Ngành công nghiệp sơn phủ: các loại sơn phủ và chất độn đặc biệt dùng cho phun plasma.
4) Ngành công nghiệp chế biến kim loại và gốm sứ: vật liệu gốm chính xác, nguyên liệu gốm thiêu kết, lớp phủ chịu nhiệt cao cấp, v.v.
